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RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的工作原理基于化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊的相結(jié)合。在刻蝕過(guò)程中，刻蝕氣體在高頻電場(chǎng)的作用下電離形成等離子體。等離子體中的活性粒子(如離子、電子、自由基等)具有很高的化學(xué)活性，可以與被刻蝕材料表面的原子反應(yīng)生成揮發(fā)性產(chǎn)物，從而實(shí)現(xiàn)材料的化學(xué)刻蝕。同時(shí)，高能離子在陰極附近...

第七屆亞洲國(guó)際摩擦學(xué)大會(huì)暨第九屆中國(guó)國(guó)際摩擦學(xué)大會(huì)(ASIATRIB&CICT2024)于2024年9月15日在天津社會(huì)山國(guó)際會(huì)議中心酒店隆重開幕。本次大會(huì)由中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)摩擦學(xué)分會(huì)主辦、清華大學(xué)天津裝備研究院承辦，西南交通大學(xué)、清華大學(xué)裝備界面科學(xué)與技術(shù)全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、華海清...

第十一屆中國(guó)微流控學(xué)術(shù)論壇暨第四屆國(guó)際微流控產(chǎn)業(yè)論壇于2024年9月21-22日在杭州寶盛水博園大酒店成功舉行。微流控芯片技術(shù)作為一項(xiàng)多學(xué)科交叉的新型生物分析技術(shù)，在醫(yī)療體外診斷、藥物篩選、環(huán)境監(jiān)測(cè)、食品安全、微納材料制備等眾多領(lǐng)域已獲得深入的研究和廣泛的應(yīng)用。學(xué)術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界一致...

電鏡等離子清洗機(jī)不僅在科研和工業(yè)界有著廣泛的應(yīng)用，其高效的清洗能力和材料表面改性功能也推動(dòng)了現(xiàn)代技術(shù)的發(fā)展。確保按照正確的操作流程使用設(shè)備，不僅可以達(dá)到良好的清洗效果，還可以延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命，保證操作的安全性。電鏡等離子清洗機(jī)的工作原理：-在操作過(guò)程中，需要將清洗機(jī)的工作腔通過(guò)...

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE)，全稱為ReactiveIonEtching，是一種在半導(dǎo)體制造中廣泛使用的干法刻蝕技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)主要通過(guò)物理性和化學(xué)性的反應(yīng)來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的準(zhǔn)確刻蝕，以形成微細(xì)的電子結(jié)構(gòu)。能夠?qū)崿F(xiàn)較高的刻蝕精度，適用于微米甚至納米級(jí)別的圖案制作；該技術(shù)提供了良好的刻蝕方向...

“中國(guó)材料大會(huì)”是中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)的學(xué)術(shù)年會(huì)，是重要的系列品牌會(huì)議之一，是中國(guó)新材料界學(xué)術(shù)水平最高、涉及領(lǐng)域廣、前沿動(dòng)態(tài)最新的超萬(wàn)人學(xué)術(shù)大會(huì)，是面向國(guó)家重大需求、推動(dòng)新材料前沿重大突破的高水平品牌大會(huì)。為推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)高質(zhì)量發(fā)展，加快建設(shè)科技強(qiáng)國(guó)，實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)，于2024...

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基)；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但...

等離子表面處理儀是一種利用放電形成的等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行處理的設(shè)備。等離子體是一種由電子、離子、原子和分子等粒子組成的電中性物質(zhì)，具有高度活性和能量。通過(guò)控制等離子體的產(chǎn)生和處理?xiàng)l件，可以對(duì)材料表面進(jìn)行微觀級(jí)別的處理，實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等多種目的。等離子表面處理儀的工作...